一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法

本发明涉及MEMS制造的技术领域，它涉及一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，将初始电压值设为固定电压值的50%‑70%，实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化；根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应：将模糊PID与滑模变结构控制融合，根据电流密度偏差和温度超调量动态调整控制参数，使电压输出纹波小于±0.5%，若电极局部温度超过材料耐受阈值的90%，激活逆向电压脉冲序列，抵消离子迁移惯性，并重新初始化当前调控周期，本发明通过多模态反馈监测和分层动态调控，能够实时调整电压，避免电流分布不均和局部过热，从而显著降低电极烧坏的风险，提高键合可靠性。