摘要
本发明涉及半导体芯片测试技术领域,具体公开一种高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置,包括:竖直滑轨,所述竖直滑轨的下端用于连接执行机构;水平直驱机构,所述水平直驱机构的驱动端与所述竖直滑轨连接,驱使所述竖直滑轨沿水平方向往复运动;水平滑轨,所述水平滑轨与所述竖直滑轨的上端沿水平方向滑动连接;竖直直驱机构,所述竖直直驱机构相对所述水平直驱机构固定设置,且所述竖直直驱机构的驱动端与所述水平滑轨连接,驱使所述水平滑轨带动所述竖直滑轨沿竖直方向往复运动。本发明提供的高速驱动单元、双工位驱动模组以及作业装置,能有效解决现有驱动单元运动速度较慢,导致生产效率较低的问题。
技术关键词
直驱机构
竖直滑轨
驱动单元
驱动模组
竖直丝杆
执行机构
作业装置
半导体芯片测试技术
往复运动
底板
工位
带轮组件
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滑块
接头
电机
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