摘要
本发明涉及半导体芯片测试技术领域,具体公开一种自适应调位吸头及芯片搬运装置,包括:转接头;抽吸组件,位于所述转接头的下方;其中,所述抽吸组件靠近所述转接头的位置设有纵向限位槽;纵向限位组件,位于所述纵向限位槽内,并与所述转接头连接;其中,所述纵向限位槽和所述纵向限位组件之间设有横向微调间隙,以供所述纵向限位组件于所述横向微调间隙行程范围内相对所述转接头进行水平位移;水平弹性复位机构,用于驱使所述纵向限位组件沿水平方向相对所述转接头移动至预设的初始位置。本发明提供的自适应调位吸头及芯片搬运装置,能有效解决现有芯片搬运装置需要配备摄像头才能吸取芯片,导致物料成本较高以及生产效率较低的问题。
技术关键词
抽吸组件
芯片搬运装置
限位组件
弹性复位机构
压簧板
上底座
半导体芯片测试技术
气动接头
浮动组件
驱动单元
隔膜
弹簧钢珠
行程
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