一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统

本发明公开了一种减薄晶圆面型和平面度智能控制方法及系统，属于半导体制造领域。该系统包括智能气浮主轴、晶圆面型识别系统、平面度测量系统、智能调节算法系统、主轴角度调节装置及主轴运行状态监控系统。通过实时监控主轴状态并结合机器学习优化策略，系统自动调节主轴的倾角、气流量和冷却水流量，确保晶圆减薄过程中的面型质量和平面度符合要求。晶圆面型识别系统和平面度测量系统通过激光测距仪实时测量晶圆表面数据，生成面型三维模型。本发明的控制方法及系统能根据实时数据自动调整主轴工作状态，减少人工干预，提高晶圆的面型控制精度和加工良率，具有智能化、精确控制和高可靠性的特点。