激光切割机

本公开提供了一种激光切割机，涉及激光切割技术领域。该激光切割机包括：扩束镜、焦点控制模块、切割头主体和激光束出口；焦点控制模块包括激光位移传感器、MEMS微镜阵列、FPGA控制器和聚焦光学模块；激光位移传感器，用于扫描激光焦点移动方向前预设长度处被切割对象表面，以获取表面高度信息；MEMS微镜阵列，用于控制激光光束进入聚焦光学模块的方向；聚焦光学模块，用于将激光光束聚焦到被切割对象对应的工作面；FPGA控制器，用于根据表面高度信息生成MEMS微镜阵列的第一驱动信号，以驱动MEMS微镜阵列微调激光焦点位置。该激光切割机实现焦点位置高精度补偿，降低切割缝宽波动降低，提高切割的精度及稳定性。