LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质

本发明提供了一种LED环形光源测试方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：对安装在角度可调支架上的LED环形光源与标准硅晶圆模拟板进行标定初始化处理，获取基准测试序列；根据基准测试序列控制LED环形光源照射标准硅晶圆模拟板，并在不同速度档位下进行多区域光场采集，获取多维度测试数据；对多维度测试数据进行特性分析，得到光场空间特性数据、光强波动频率特性数据和缺陷检出率评估结果，进而构建光场畸变模型；根据光场畸变模型计算光强均匀度偏差值和缺陷检出能力评分，并生成测试评估报告。该方法通过多区域采集和数据分析，构建光场畸变模型，能够准确评估光强分布的均匀度和缺陷检出能力。提高LED环形光源在硅晶圆高精度检测中的效果。