基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法

本发明提供了一种基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法，补偿装置包括四个相同型号的驱动单元、一条柔性铰链、一个真空吸附平台、一个连接法兰和一个固定底座，驱动单元包括压电陶瓷驱动器和位移传感器，所述压电陶瓷驱动器位于柔性铰链的底部，真空吸附平台与柔性铰链相连，压电陶瓷驱动器的下端与固定底座相连进行支撑，四组柔性铰链并联对称分布在连接法兰上，连接法兰位于固定底座上，波纹度误差补偿装置具有三个自由度，通过施加电压驱动压电陶瓷驱动器进行真空吸附平台位姿的调整。通过本发明方案，能够实时补偿刀尖‑工件之间的相对振动，抑制飞刀切削弧状波纹度误差，从而显著提高加工表面的质量和精度。