摘要
本发明公开了一种具有凹槽的封装基板及其制作方法,涉及封装基板技术领域。该方法包括:准备载体基板;在载体基板的表面制作第一线路和牺牲线路,并在牺牲线路的表面制作牺牲铜块;在载体基板的表面压合介质层和铜箔,形成第一基板;对第一基板进行钻孔,形成若干个第一盲孔和第二盲孔;在第二盲孔内制作第一抗蚀层;对第一盲孔和第二盲孔内部进行电镀,并在第一基板的表面形成第二线路;将第一基板的载体基板去除,获得第二基板;蚀刻牺牲线路和牺牲铜块,获得凹槽;去除第一抗蚀层,并对第二基板进行阻焊和表面处理。根据本发明实施例的具有凹槽的封装基板的制作方法,凹槽的尺寸精度更容易控制,槽体底部平整度更高。
技术关键词
抗蚀层
载体铜箔
铜块
种子层
线路
凹槽
盲孔内壁
封装基板技术
倒装芯片
蚀刻
电镀
制作方法制作
介质
钻孔
载板
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