一种半导体产品检测设备

本申请公开了一种半导体产品检测设备，涉及半导体检测领域，其包括箱体，箱体上设置有进料机构和出料机构，箱体内设置有移动机构，移动机构上设置有机械臂，箱体内设置有置物架，置物架上设置有方片寻边机和晶圆寻边机，箱体上设置有多个检测机构，箱体侧壁上开设有多个检测口。本申请利用移动机构带动机械臂移动，机械臂将晶圆和液晶方片分别搬运至晶圆寻边机和方片寻边机上进行寻边，晶圆寻边机和方片寻边机同时进行寻边，再将寻边后的晶圆和液晶方片通过检测口搬运至不同的检测机构内，多个检测机构同时对晶圆和液晶方片进行检测，使得检测设备兼容了晶圆与液晶方片的搬运、寻边与检测并提高了晶圆和液晶方片的检测效率。