一种用于芯片加工的超声波气相清洗机

本发明公开了一种用于芯片加工的超声波气相清洗机，涉及超声波气相清洗领域，包括正面设置有存放仓的机箱，所述机箱的外表面设置有存放仓，用于临时放置芯片和清洁液，所述机箱靠近放置台的一端固定连接有按钮板，还包括：清洗仓，提供了封闭的清洗芯片的封闭环境；盖板单元，用于封盖清洗仓并具有了隔离较大污渍的作用；承载单元，用于安放芯片并确保芯片在清洗过程中稳固放置；气相循环单元，用于释放清洗液蒸汽，以及冷凝并净化回收清洗液并实现循环利用，工作时气相循环单元会将清洗液加热蒸发并以喷雾的状态喷出，伴随着超声波的加持，从而对待加工芯片上的杂质进行清除，同时气相循环单元还会净化冷凝过后的清洁液并实现循环利用。