摘要
本发明公开了一种高精度气密性检测仪及其检测方法。一方面,一种高精度气密性检测仪,包括用于放置待测产品的检测夹具;在所述检测夹具的外部设有一与位于该检测夹具内的待测产品连接以自动控制其内部压力的气压调节器;所述气压调节器包括箱体结构,在所述箱体结构内设有真空发生器且该真空发生器通过一设在该箱体结构上的气路控制阀岛结构与待测产品连接以自动实施气密性检测进而安全判定该待测产品的气密性。另一方面,本发明还提供了一种采用上述高精度气密性检测仪的检测方法。本发明具有能够准确判定预定的电子产品气密性以保证其质量、并且在检测的过程中不易危害电子产品质量的优点。
技术关键词
气密性检测仪
岛结构
气路控制阀
真空发生器
检测夹具
气压调节器
箱体结构
集成电路芯片
腔体
夹具结构
下压气缸
测试电磁阀
控制结构
待测产品
排气电磁阀
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限位结构
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