一种TFT材料显示制作工艺方法

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一种TFT材料显示制作工艺方法
申请号:CN202510309736
申请日期:2025-03-14
公开号:CN120182233A
公开日期:2025-06-20
类型:发明专利
摘要
本发明涉TFT材料显示制作数据处理技术领域,本发明提供的一种TFT材料显示制作工艺方法,针对现有工艺中点缺陷检测不及时的问题进行了改进,通过收集包括基板、薄膜晶体管制作、彩膜制作等多方面的历史数据,利用神经网络模型训练出TFT材料显示制作工艺控制模型和点缺陷检测模型。在生产过程中,实时采集运行数据并输入点缺陷检测模型,当检测到点缺陷,立即解析结果并调整工艺参数。同时,通过遗传算法对控制模型进行优化,实现工艺参数的实时调整与反馈。本发明有效提高了生产效率和成品质量,实现了自动化缺陷检测与处理,具有显著的有益效果。
技术关键词
制作工艺方法 薄膜晶体管制作 检测模型训练 制作设备 采集运行数据 遗传算法 工艺控制参数 彩膜 基板 显示屏响应时间 滤光片 训练集 自动化缺陷检测 神经网络模型训练 光刻参数
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