一种应用于芯片离子阱的超低温超真空装置

本发明的一种应用于芯片离子阱的超低温超真空装置，涉及低温制冷和量子计算领域，包括上盖板、下盖板，真空罩、冷板结构和工作腔室。上盖板、下盖板和第一密封垫圈配合，形成第一密封结构；上盖与下盖分别与密封抵接，和第二密封垫圈形成有第二密封结构，制冷机包括第一冷头和第二冷头，分别延伸至第一换热腔和第二换热腔，分别为第一冷板和第二冷板提供冷量。本发明通过第一密封结构和第二密封结构的结合，实现了装置内部的超高真空环境，同时选用金属波纹管与上盖板实现软连接设计，第一换热腔和第二换热腔的隔离设计，避免冷头和冷板的硬连接设计，从而实现为芯片离子阱提供低振动的超低温超真空工作环境。