一种基于玻璃衬底的轴向立体螺旋电感及其制作方法

本申请涉及半导体技术领域，公开了一种基于玻璃衬底的轴向立体螺旋电感及其制作方法，其中，所述轴向垂直螺旋电感包括上表层、玻璃衬底和下表层，上表层包括多个第一金属连接线，下表层包括多个第二金属连接线和多个第三金属连接线，玻璃衬底包括第一玻璃通孔组和第二玻璃通孔组，其中：第一金属连接线与第二金属连接线通过第一玻璃通孔组或第二玻璃通孔组连接；第三金属连接线位于第二金属连接线的下方，第三金属连接线与第二金属连接线平行，第三金属连接线的一侧与相邻第二金属连接线电性连接，第三金属连接线的另一侧接地；第三金属连接线与相邻第二金属连接线的间距大于20um。本申请实施方式提供的技术方案，可以提高螺旋电感的品质因数。