摘要
本发明公开了一种电荷耦合型单像素探测器光谱芯片及其驱动方法,光谱芯片从下至上依次包括衬底、缓冲层、吸收层、帽层、绝缘层和金属电极;衬底为半绝缘衬底;缓冲层重度掺杂并与衬底晶格匹配,作为芯片的公共电极;吸收层为具有弱掺杂材料的渐变带隙吸收层,与缓冲层具有相同的导电类型;帽层与吸收层保持晶格匹配,弱掺杂且与缓冲层具有相同的导电类型;绝缘层为通过化学气相沉积法或者原子层沉积法制备得到的介质膜;所述金属电极包含n极和p极,由溅射法或者CVD法制得;所述金属电极、帽层、吸收层、缓冲层构成MIS结构并形成栅极和PN结。本发明无需分光元件与光路即可工作,可以实现极小的尺寸,满足不同需求下的应用场景。
技术关键词
金属电极
缓冲层
栅极
衬底晶格匹配
芯片
原子层沉积法
驱动方法
像素
照射结构
气相沉积法
超晶格材料
二极管
探测器单元
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电压
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