一种电荷耦合型单像素探测器光谱芯片及其驱动方法

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一种电荷耦合型单像素探测器光谱芯片及其驱动方法
申请号:CN202510321067
申请日期:2025-03-18
公开号:CN120129319A
公开日期:2025-06-10
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种电荷耦合型单像素探测器光谱芯片及其驱动方法,光谱芯片从下至上依次包括衬底、缓冲层、吸收层、帽层、绝缘层和金属电极;衬底为半绝缘衬底;缓冲层重度掺杂并与衬底晶格匹配,作为芯片的公共电极;吸收层为具有弱掺杂材料的渐变带隙吸收层,与缓冲层具有相同的导电类型;帽层与吸收层保持晶格匹配,弱掺杂且与缓冲层具有相同的导电类型;绝缘层为通过化学气相沉积法或者原子层沉积法制备得到的介质膜;所述金属电极包含n极和p极,由溅射法或者CVD法制得;所述金属电极、帽层、吸收层、缓冲层构成MIS结构并形成栅极和PN结。本发明无需分光元件与光路即可工作,可以实现极小的尺寸,满足不同需求下的应用场景。
技术关键词
金属电极 缓冲层 栅极 衬底晶格匹配 芯片 原子层沉积法 驱动方法 像素 照射结构 气相沉积法 超晶格材料 二极管 探测器单元 带隙 电压 分光元件 时钟脉冲 外延
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