一种光调制板及其制作方法、X射线关联成像设备

本发明适用于光学技术领域，尤其涉及一种光调制板及其制作方法、X射线关联成像设备，所述制作方法包括以下步骤：根据调制图样中各调制单元的尺寸参数确定最小结构单元；根据所述最小结构单元的尺寸参数，将各调制单元划分为由最小结构单元构成的一系列调制单元结构；对划分后的各最小结构单元进行修正，制成样板；参照样板在基板上进行调制图样的刻蚀，制得光调制板。本发明提供的一种光调制板的制作方法，通过对调制图样进行修正，将其中的大尺寸结构改为一系列不相连的小尺寸结构，可以使整个光调制板以相同的速度刻蚀，使每个调制单元与调制图样的偏差降到最低，能够得到与设计的调制图样差异更小的光调制板。