晶圆片传输方法、晶圆片传输设备以及计算机存储介质

本申请提出一种晶圆片传输方法、晶圆片传输设备以及计算机存储介质。方法包括：根据机械手末端的触发坐标，标定传感器坐标以及晶圆片圆心坐标；基于晶圆片圆心坐标在晶圆片圆心处建立工具坐标系，示教晶圆片放料台的目标位置；按照目标位置控制机械手对待纠偏晶圆片进行搬运，采集搬运过程中的传输触发数据；利用传感器坐标和传输触发数据，计算待纠偏晶圆片圆心的坐标；基于待纠偏晶圆片圆心的坐标，以及目标位置，调整机械手的各关节角度，完成晶圆片圆心的位置纠偏。通过上述晶圆片传输方法，实现一种操作简单且更高精度的晶圆片圆心位置动态纠偏，使得机械手在搬运晶圆片的过程中完成晶圆片圆心位置的高精度纠偏，提高晶圆片搬运准确性。