硅片检测方法和装置

本发明提供一种硅片检测方法和装置。硅片检测方法包括获取经过硬度测试的硅片的目标图像；将所述目标图像输入硅片痕迹识别模型获得所述硅片的痕迹信息，其中，所述硅片痕迹识别模型是以硅片的图像为输入，以硅片的痕迹信息为输出的，预训练的浅层卷积神经网络模型，所述痕迹信息包括痕迹类型和痕迹尺寸；根据所述痕迹信息计算所述硅片的硬度及断裂韧性测试结果。本发明实施例能够对于硅片硬度及断裂韧性测试的测试效果。