一种弹性波器件及其制造方法

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一种弹性波器件及其制造方法
申请号:CN202510339725
申请日期:2025-03-21
公开号:CN120710476A
公开日期:2025-09-26
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种弹性波器件,弹性波器件包括芯片,封装基板以及中间金属层,芯片一面设置芯片侧金属层,其上设置有电路图案,该电路图案至少包括IDT电极、多个功能元件和布线;封装基板一面设置基板侧金属层,中间金属层被设置于芯片侧金属层和基板侧金属层之间,并将二者接合;中间金属层具备与电路图案中的布线相接合的垂直配线部,垂直配线部位于所述芯片与所述封装基板之间。通过垂直布线部,在电路图案中的布线与基板侧金属层之间形成气隙,并使二者连接。该设计为弹性波器件实现合理的立体布线结构,同时避免其结构及制造工艺复杂化。
技术关键词
弹性波器件 封装基板 集合基板 功能元件 芯片 立体布线结构 图案 配线 电路 气隙 电极
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