反射式叠层衍射成像方法及相关装置

本申请提供了一种反射式叠层衍射成像方法及相关装置。该反射式叠层衍射成像方法包括：获取样品在预设角度下的目标区域内不同扫描位置的衍射图像；根据所述衍射图像，采用改进的sPIE迭代算法进行衍射光场重构，得出重建的图像。其中，所述改进的sPIE迭代算法包括预迭代步骤和主迭代步骤，所述预迭代步骤对预设角度进行自适应的校正，以确定最佳角度组合。