一种微型集成化激光气体传感器

本发明公开了一种微型集成化激光气体传感器，将硅基板固定在陶瓷基板上，陶瓷基板固定在管壳上，管帽与管壳封装，管帽上设有通孔，以便于气体流入；激光器、探测器和光学气室均键合在硅基板上，且光学气室位于激光器和探测器上方，光学气室用于供待测气体流动；激光器和探测器通过无引线倒装焊接在陶瓷基板上，ASIC调理芯片和TEC温度单元通过焊盘固定在陶瓷基板上，激光器、探测器和TEC温度单元均通过引线连接ASIC调理芯片，ASIC调理芯片通过焊盘和金丝与管壳的引脚相连，以实现对外电源及信号连接。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、可靠性高等特点，提升了传感器集成能力，满足了小型化长时间测量的使用要求。