一种激光照明缺陷检测成像系统

本发明属于缺陷检测技术领域，具体公开了激光照明缺陷检测成像系统，其包括：激光照明器、载物台、成像相机；成激光照明器包括激光发射头；激光发射头包括沿激光照射方向依次排布的激光芯片、准直透镜、衍射光学元件、相位延迟片；激光芯片与准直透镜的距离为5毫米至7毫米；准直透镜与衍射光学元件的距离为1至3毫米；相位延迟片与衍射光学元件之间的距离为1至3毫米。激光发射头能发出能量均匀分布的准直圆偏振光，能量均匀分布的准直圆偏振光入射至被检测的光学元件的表面缺陷处后，反射至成像相机的光更加强大，即使光学元件的缺陷的深度小于5微米，也能反射一定强度的激光，以采集表面缺陷的反射光，更好地对光学元件的缺陷进行检测。