晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品

本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品，涉及图像识别技术领域，针对目前算法中常用的池化操作会丢失缺陷细节，使得目前算法对晶圆缺陷图中细长形状缺陷的拟合能力有限，从而导致晶圆缺陷检测准确率低的问题，本申请提出了一种晶圆缺陷检测方法：获取第一晶圆图片，通过预设的第一缺陷识别模型对所述第一晶圆图片进行识别，晶圆缺陷识别结果；本申请通过在模型中设置空洞卷积模块，以提高了卷积核的感受野，并在卷积时跳过了预设范围内的值，避免了因对过多元素进行卷积而导致的特征图分辨率降低，通过捕捉更大范围的信息，提高对晶圆中细长形状缺陷的拟合能力，从而提高对晶圆缺陷的检测准确率。