基板对准系统

基板对准系统包括：工作台模块，在工作台模块上设置第一基板和在第一方向上与第一基板间隔开的第二基板，工作台模块包括框架、移动部和支撑部，移动部使第一基板和第二基板移动，支撑部支撑第一基板和第二基板；以及机器人模块，用于向工作台模块移送第一基板和第二基板，或者从工作台模块向外部移送第一基板和第二基板。