一种多模态敏感元件及其制备方法和应用以及多模态传感器

本发明提供了一种多模态敏感元件及其制备方法和应用以及多模态传感器，属于传感器技术领域。本发明提供的多模态敏感元件包括柔性基底以及设置于所述柔性基底表面的温度感受器、气体感受器和机械力感受器；所述温度感受器包括第一线型铜电极和线型镍电极，所述第一线型铜电极的一端与所述线型镍电极的一端接触设置；所述气体感受器包括第一梳状铜电极和涂覆于所述第一梳状铜电极梳状面上的钯/钇合金‑纳米氧化钨层；所述机械力感受器包括第二梳状铜电极和设置于所述第二梳状铜电极梳状面上机械力敏感层，所述机械力敏感层的材质包括聚二甲基硅氧烷和分散于所述聚二甲基硅氧烷中的纳米碳酸钡和纳米氮化铝。本发明提供的多模态敏感元件的多信号间低串扰。