用于检测晶片处理系统中的室的内部位置的设备

提出了一种用于检测晶片处理系统的室中的物体的物体检测设备。该用于检测晶片处理系统的室中的物体位置的设备包括：主体框架，其包括感测部分和指示部分，其中感测部分包括至少一个传感器，用于感测室中物体的位置，并且指示部分包括至少一个信号，用于指示物体的检测，其中至少一个传感器中的每个对应于至少一个信号中的每个，以及电源单元，其设置在主体框架中并且配置为向至少一个信号供电。利用该设备，可以在不打开室或降低室温度的情况下进行比如教导的工作，因此可以显著缩短工作时间并节省能量。