相变材料悬臂梁结构光-热-机械耦合性能联合仿真方法

一种相变材料悬臂梁结构光‑热‑机械耦合性能联合仿真方法，包括：在多物理场仿真软件(如COMSOL)中集成波动光学、固体传热、固体力学模块，构建含光子超材料层与相变材料悬臂梁的三维模型，通过温度相关插值函数形成光‑热‑机械基础耦合架构；设定光子超材料边界激励、悬臂梁锚区约束等条件；利用电磁热接口、热膨胀接口实现光‑热‑机械闭环迭代耦合；采用自由四面体网格并细化悬臂梁尖端接触区域；通过参数扫描分析入射光波长等对光吸收、温度场的影响，优化结构参数。该方法解决传统悬臂梁仿真缺乏多物理场耦合的问题，实现全链条动态仿真，提升器件设计效率与精度，优化参数匹配，为器件设计提供技术支撑，降低成本，助力相关MEMS传感器研制。