一种发光二极管芯片及其制备方法

本发明提供了一种发光二极管芯片及其制备方法，所述发光二极管芯片包括自下而上层叠设置的导电硅片、金属键合层、N型导电金属层、第二绝缘保护层、P型导电金属层、反射层、欧姆接触层、外延层、第三绝缘保护层，外延层上设有贯穿外延层的若干分割槽，分割槽内依次层叠设置第一绝缘保护层和应力释放金属层，应力释放金属层的热膨胀系数小于外延层的热膨胀系数，在外延层上制备多个分割槽，确保外延层与衬底分离过程中，产生的应力通过多个分割槽可以得到传导和分散，避免外延层破裂或脱落的现象，在分割槽内设置应力释放金属层，避免因外延层的内应力及热压键合过程中高温翘曲，引起的外延层破裂或脱落。