基于高低频复用探针的晶圆测试系统及其测试方法

本申请公开了一种基于高低频复用探针的晶圆测试系统及其测试方法，涉及半导体技术领域，其中，基于高低频复用探针的晶圆测试系统包括探针卡、测试机与高速切换矩阵；探针卡上设置有信号传输层与单排探针；本申请集成高频测试与低频测试两大功能，并通过探针卡上配备的一排探针，配合高速切换矩阵，实现了对裸芯的高频与低频测试间的无干扰切换。由于探针卡仅配备一排探针，削减探针的成本，并且测试过程中仅需进行一次对位操作，简化测试工艺流程，提高测试效率。同时，探针与裸芯的连接也仅需一次完成，对机械手臂的精度和复杂度要求显著降低，进一步降低了操作难度和成本，一次接触也有效减少对裸芯的键合焊盘的损伤，提高封装良率。