摘要
本申请公开了一种波长锁定的半导体激光器,包括:半导体激光芯片、准直透镜、再准直透镜、采样反射镜和波长锁定模块,沿半导体激光芯片的激光光束出射方向依次设置准直透镜和再准直透镜,采样反射镜用于对经过再准直透镜后的激光光束的光斑边缘进行采样,并反射至波长锁定模块,反馈光束依次经过采样反射镜、再准直透镜的焦点、再准直透镜和准直透镜后回到半导体激光芯片。本申请公开的一种波长锁定的半导体激光器,能够大幅度降低波长锁定模块上的功率密度,改善波长锁定模块的温度特征;避免半导体激光芯片边缘非发光区吸收反馈光束,降低腔面温度,大幅提升激光器寿命和可靠性;提升激光器输出光束质量,提高半导体激光器的稳定性和可靠性。
技术关键词
准直透镜
半导体激光芯片
半导体激光器
波长
反射镜
光束
模块
光栅
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光斑
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焦点
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