降低噪声的霍尔传感器

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正文
推荐专利
降低噪声的霍尔传感器
申请号:CN202510379963
申请日期:2025-03-28
公开号:CN120730995A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
包括至少一个霍尔传感器(110)的半导体芯片(100)。该至少一个霍尔传感器(110)包括:在半导体衬底中的具有第一导电类型的导电阱(111);布置在导电阱(111)的表面处并且具有第一导电类型的多个阱触点(114);在导电阱(111)的表面处定界阱触点(114)的多个浅沟槽隔离区(113)。具有与第一导电类型相反的第二导电类型的植入物(112)存在于浅沟槽隔离区(113)的侧面上,使得霍尔传感器(110)包括耗尽区,该耗尽区包括:位于植入物(112)和导电阱(111)之间的第一子区域(115a),以及位于植入物(112)和阱触点(114)之间的第二子区域(115b)。
技术关键词
半导体芯片 霍尔传感器 浅沟槽隔离区 植入物 导电 半导体衬底 掺杂剂掺杂 触点 驱动器电路 读出电路 信号 噪声 处理器 线性
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