搬运系统

一种搬运系统(100)，具备：用于将基板(W)从第一载置部(200)搬运到第二载置部(300)的搬运机器人(2)；用于使搬运机器人沿Y轴方向移动的移动机构(3)；以及控制部(8)。移动机构具备：轨道部(31)；固定搬运机器人并经由无限循环的多个滚珠(34)组装于轨道部(31)的块体(32)；以及移动块体的块体驱动部(33)。在将基板(W)从第一载置部搬运到第二载置部之前的设定阶段，控制部(8)驱动块体驱动部，以使块体位于设定的停止位置，在将基板(W)从第一载置部搬运到第二载置部的作业阶段，控制部(8)根据搬运机器人的动作状况驱动块体驱动部，使块体在停止位置和隔开规定距离的位置之间往复移动。