摘要
本发明公开一种超薄DFN或QFN封装结构及其制作方法,超薄DFN或QFN封装结构制作方法包括:在载板的表面粘贴掩膜;通过曝光显影在载板上表面显露出所需的图形;在经过曝光显影后的载板上成型出多个引脚;将掩膜去除;将晶圆做磨划处理,得到具有限位结构的芯片;将芯片贴装在载板上表面;将引线的两端分别与芯片和引脚焊接;在载板上方用塑封材料塑封形成包覆芯片、引脚、限位结构、引线的塑封体;将载板与塑封体分离,使引脚和芯片的下表面均露出于塑封体外;将去除载板后的塑封体进行切割处理,得到若干独立的DFN或QFN封装产品,本发明采用去除基岛的封装方式,使产品的整体厚度更薄,满足对超薄DFN或QFN封装结构的市场需求。
技术关键词
芯片
封装结构制作方法
限位结构
掩膜
引线
电镀方式
载板
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