摘要
本发明公开了一种等高电极的Micro‑LED芯片及其制备方法和显示面板,包括形成在衬底上的外延结构,以及电极结构;外延结构由下至上包括结合层、n型材料层、多量子阱有源层、电子阻挡层、p型材料层和透明导电层,外延结构中设置有直达n型材料层的n电极孔和直达p型材料层的p电极孔,n电极孔的底部截面为直径大于n电极孔深度的圆形;电极结构包括分别设置在n电极孔和p电极孔中的n电极和p电极,其中,n电极包括第一连接端和第一键合端,p电极包括第二连接端和第二键合端,第一键合端与第二键合端高度相同。本发明通过优化电极结构,提升了电极与半导体材料层的接触,提升Micro‑LED芯片的良率、电流的均匀性以及使用寿命。
技术关键词
LED芯片
外延结构
电极结构
透明导电层
电子阻挡层
应力缓冲层
衬底
半导体材料
面板
电流
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