摘要
本申请涉及一种复合电极结构、石墨模具、半导体封装结构。复合电极结构,包括:第一合金层;电极层,位于第一合金层的一侧,电极层包括铜金刚石复合材料;第二合金层,位于电极层远离第一合金层的一侧,其中,第一合金层和电极层的热膨胀系数的差值、以及第二合金层和电极层的热膨胀系数的差值均小于阈值。本申请的复合电极结构导热性好,可靠性高。
技术关键词
复合电极结构
铜金刚石复合材料
石墨模具
半导体封装结构
钼铜合金板
腔室
模具本体
钨铜合金
改性材料
合金材料
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