摘要
本申请实施例提供一种半导体封装结构以及半导体结构的封装方法,半导体封装结构,包括:中介层,包括位于所述中介层内部的微通道结构,以及沿垂直于所述中介层的方向延伸的导电柱;芯片层,覆盖所述中介层的第一区域;所述芯片层与所述导电柱电连接;封装层,覆盖所述中介层的第二区域和所述芯片层的表面,所述第二区域围绕所述第一区域;至少两个导流孔,设于所述封装层内;所述导流孔沿垂直于所述封装层的方向延伸至所述中介层,并与所述微通道结构连通;其中,所述导流孔用于导入或导出所述微通道结构中的冷凝液。
技术关键词
半导体封装结构
微通道结构
中介层
封装方法
键合结构
导电柱
凸点结构
导流
半导体结构
介质
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冷凝液
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