半导体封装结构以及半导体结构的封装方法

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半导体封装结构以及半导体结构的封装方法
申请号:CN202411864321
申请日期:2024-12-17
公开号:CN119695005A
公开日期:2025-03-25
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供一种半导体封装结构以及半导体结构的封装方法,半导体封装结构,包括:中介层,包括位于所述中介层内部的微通道结构,以及沿垂直于所述中介层的方向延伸的导电柱;芯片层,覆盖所述中介层的第一区域;所述芯片层与所述导电柱电连接;封装层,覆盖所述中介层的第二区域和所述芯片层的表面,所述第二区域围绕所述第一区域;至少两个导流孔,设于所述封装层内;所述导流孔沿垂直于所述封装层的方向延伸至所述中介层,并与所述微通道结构连通;其中,所述导流孔用于导入或导出所述微通道结构中的冷凝液。
技术关键词
半导体封装结构 微通道结构 中介层 封装方法 键合结构 导电柱 凸点结构 导流 半导体结构 介质 存算一体芯片 冷凝液 衬底层 系统级芯片 晶圆 凹槽 基板
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