一种半导体物料流向的EM寻路系统

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一种半导体物料流向的EM寻路系统
申请号:CN202510389677
申请日期:2025-03-31
公开号:CN120295237A
公开日期:2025-07-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体工厂物料搬运领域,且公开了一种半导体物料流向的EM寻路系统,系统包括布局图绘制模块、路径与设备配置模块、信息获取模块、任务生成模块、路径规划模块以及任务执行模块,通过绘制布局图,并标注出物料节点和节点的功能,通过将调度系统中获取的各个设备的状态信息和任务信息输入到寻路系统中对动态调整路径权重进行分析,通过调度系统向寻路系统发送寻路指令,来触发对物料的搬运路径的规划,并将所规划的最优路径,返回调度系统,根据路径配置调用对应设备的执行任务,解决了传统寻路系统中各个设备独立调度、路径规划效率低下的问题,有利于实现设备之间的高效协作,消除冲突和资源浪费,提高了整体物料搬运效率。
技术关键词
寻路系统 调度系统 设备配置模块 设备状态信息 布局 半导体 实时状态信息 中央控制系统 搬运设备 Dijkstra算法 节点 动态 物料搬运效率 路径规划效率 因子 终点 激光反射板
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