一种室温超透镜耦合的甚长波红外探测器及其制备方法

本发明公开了一种室温超透镜耦合的甚长波红外探测器及其制备方法。本发明基于准光学耦合和电磁诱导势阱效应，设计了偶极天线或方形螺旋天线耦合的碲镉汞探测器，可实现室温高灵敏甚长波红外探测。选用半径5‑8mm和延伸长度最优的硅超半球透镜对甚长波红外入射信号进行准光学聚焦，结合天线耦合增强的电磁诱导势阱效应机理，使探测器对对甚长波红外的响应信噪比提升到非耦合条件下的103倍，且可实现120μm～1mm(0.3～2.5THz)范围的室温灵敏探测。所述探测器具有响应速度快(亚纳秒～微秒量级)，灵敏度高等优势，有望在未来甚长波红外遥感、太赫兹通信等领域取得应用。