一种测量与校正透射电镜测角台偏差的方法

本发明提出一种测量与校正透射电镜测角台偏差的方法，包括以下步骤；步骤S1、采集Ronchigram图像，提取出图像中心的精确坐标；步骤S2、基于多晶FIB样品采集多个数据点，其数据包括多个样品晶粒在倾转至正轴时对应的α、β倾转角数据，以确保校准过程数据统计的可靠性与重复性；步骤S3、计算出晶粒在倾转至正轴时在图像上对应的x、y坐标，即Pixelx,Pixely；步骤S4、构建用于描述透射电镜实际的倾转系统与图像采集系统之间的几何关系的数学模型；步骤S5、针对实际采集到的α、β倾转角数据，对应的Pixelx、Pixely数据两组数据进行拟合处理及求解参数；步骤S6、以步骤S5的计算结果，针对电镜转轴操作进行倾转角度的计算；本发明具有高精度、稳定性好和重复性强的优点。