摘要
本发明公开了一种忆容器、制备方法和神经网络并行计算芯片及其应用方法,该忆容器包括:自上而下依次设置的顶栅电极、顶介电层、屏蔽层和读出电极;其中:所述顶栅电极,完全覆盖于所述顶介电层的上表面;所述顶栅电极的顶面具有与外部输入电路连接的输入端;所述顶介电层,覆盖于所述屏蔽层上表面的部分区域;所述屏蔽层,位于所述顶介电层和读出电极之间,且下表面完全覆盖于所述读出电极的上表面;所述读出电极的下表面具有与外部输出电路电连接的输出端。本发明涉及半导体技术领域;通过在电极之间引入屏蔽层,利用电荷屏蔽效应实现高动态范围的电容变化,从而在保持高精度的同时显著降低功耗。
技术关键词
忆容器
电容放大器
电极
屏蔽层
位线
复合衬底
掺杂区
对准标记
氮化钛材料
输入电路
信号控制开关
深沟槽
屏蔽线
芯片
外延
存储单元
电容电路
退火工艺
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