一种用于甲烷探测的芯片制备方法、甲烷探测器

本发明涉及一种用于甲烷探测的芯片制备方法、甲烷探测器，其中，芯片制备方法包括：在衬底表面生长外延结构，得到外延片；在外延片上制作光栅掩膜，并在光栅掩膜腐蚀出光栅结构；对光栅结构进行光栅掩埋和欧姆接触层生长，得到光栅片；在光栅片上沉积掩膜，经处理后再腐蚀至腐蚀截止层，去除掩膜，得到脊型波导的晶圆；在晶圆的表面沉积第一钝化层，在第一钝化层上制作加热模块，去除脊型波导顶端的第一钝化层以露出欧姆接触层，在欧姆接触层上蒸镀金属电极，并形成激光器焊盘，最后对外延片进行处理以形成芯片。本发明的另一种方法还能只集成加热器。本发明能够提高加热效率和降低功耗。