一种用于多通道气体流量比例控制方法及系统

本发明涉及一种用于多通道气体流量比例控制方法及系统，所述方法包括，采用流量传感器分别获取上游流量以及次级通道内的流量并计算各次级通道内的流量比例；设定各次级通道内的实际流量比例的总和为1以及各次级通道内的流量比例设定值的总和为1；构建内模控制算法并结合PID算法动态调整控制增益；当设定值变化时，向所有次级通道施加电压前馈信号，快速接近目标比例；实时监控各次级通道反馈误差及变化率，根据反馈误差及变化率动态调整最大通道优先级；计算非最大通道电压值，根据电压值驱动对应的阀门调整开度。本发明通过PID控制、电压前馈和变速增益相结合的控制策略来精确控制流量比例，确保了系统的稳定性和控制精度。