一种薄膜电容器工艺检测方法、系统、介质及程序产品

一种薄膜电容器工艺检测方法、系统、介质及程序产品，在该方法中，建立待测薄膜电容器的三维结构模型；确定三维温度分布数据；计算待测薄膜电容器介质层应力分布数据；判断应力分布数据是否超过预设应力阈值；若超过，则判定不合格；若不超过，则获取待测薄膜电容器两端的阶跃响应电压数据；得到待测薄膜电容器的频域阻抗特性数据，频域阻抗特性数据表征待测薄膜电容器在不同频率下的阻抗特性；计算频域阻抗特性数据与标准器件的频域阻抗特性数据的偏差度；判断偏差度是否小于预设偏差阈值；若小于，则判定薄膜电容器工艺不合格；若不小于，则判定薄膜电容器工艺合格。本申请提高了薄膜电容器工艺检测的准确性。