掠入射变倍率极紫外光刻照明系统及设计方法

本发明提出了一种掠入射变倍率极紫外光刻照明系统及设计方法，该照明系统的中继镜组采用正入射与掠入射组合的系统结构，采用两反结构，其中一个反射镜的光线入射的形式为掠入射，另一个反射镜的光线入射的形式为正入射。对比现有的中继镜组设计，同样采用两反结构，但两个反射镜的光线入射的形式均为正入射，光线入射的形式为掠入射，提高了反射率；为实现不同的照明模式，提出了一种多优化参数双排复眼匹配方法。确定了多个影响照明均匀性的参数，用这些参数计算成本值并建立成本矩阵，使用Kuhn‑Munkres算法计算获得了双排复眼的最优匹配关系，对比现有的双排复眼匹配模型仅考虑了一个影响照明均匀性的参数，提高了照明均匀性。