一种双通道光弹调制椭偏测量设备和方法

本申请属于光学测量技术领域，具体公开了一种双通道光弹调制椭偏测量设备和方法。本申请设备基于光弹调制的椭偏测量原理构建，包括：光源、准直透镜、第一偏振片、第二偏振片、第一光弹调制器、样品台、第二光弹调制器、分束器和多个信号采集器；本申请设备中光弹调制器利用了压电效应和应力双折射的原理，通过施加交变电场来实现对信号的调制，这种调制方法不需要任何的运动部件，能够高速稳定的完成测量。并且，本申请设备中多通道检测的设置能够使设备同时获取样品多个波长的信息，并依次解算出薄膜样品的厚度和光学参数。