多源MAP数据的评审方法、装置、电子设备及介质

本申请提供一种多源MAP数据的评审方法、装置、电子设备及介质，涉及半导体技术领域，该方法包括：获取待处理晶圆的多源MAP数据；MAP数据包括待处理晶圆中各芯片的坐标和在相应测试节点的测试结果；对各MAP数据中相应芯片的坐标进行预处理，得到各芯片的目标坐标；基于各芯片的目标坐标，对各芯片在不同测试节点的测试结果进行融合，得到质量评审结果。本申请可以在很大程度上提高待处理晶圆中各芯片的评审效率与准确性，同时也为半导体制造业带来显著的竞争优势。