一种加速光刻热点检测的方法及装置

本发明公开了一种加速光刻热点检测的方法及装置，包括：获取产品版图数据；对产品版图数据进行光刻工艺热点检查，定位热点，设定热点图形区域半径；将热点区域图形转换为特征向量并映射为图的节点，使用贪心算法实现基于图的动态热点库形成和更新；产品版图数据局部化与高风险热点版图区域筛选；光刻模拟仿真与光刻热点图形检测结果输出。本发明通过版图局部化的热点检测，可将光刻工艺热点仿真由全局转化为局部处理，大大降低光刻热点检查时间；改良的热点库热点匹配方法，包括热点图形尺寸选取方法、结合贪心算法的基于图的动态热点库建立算法，使得热点库图形更容易匹配且加快训练速度。