一种芯片刻蚀加工设备

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一种芯片刻蚀加工设备
申请号:CN202510424520
申请日期:2025-04-07
公开号:CN120341138A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片刻蚀技术领域,具体地说,涉及一种芯片刻蚀加工设备。包括刻蚀机,所述刻蚀机的内部设置有两组刻蚀装置,一组所述刻蚀装置包括刻蚀箱和清洗箱,所述刻蚀箱和清洗箱的上端固定连接有侧板,所述刻蚀箱的上方设置有固定杆,所述固定杆的下端固定连接有夹持组件,本发明通过摆动板带动一系列部件运动,使固定块通过活动杆带动滑杆在圆柱杆上横向移动,从而带动芯片在刻蚀箱和清洗箱上方进行往复横向移动,既实现芯片在不同加工区域之间精准定位,极大缩短了工序转移时间,通过相关部件带动芯片在刻蚀箱或清洗箱内往复纵向移动,精确控制浸入深度,保障刻蚀和清洗效果的一致性与均匀性,提高芯片加工质量。
技术关键词
清洗箱 移动装置 芯片 刻蚀装置 翻转装置 夹持组件 活动杆 后辅助装置 活动块 刻蚀技术 支撑杆 滑杆 滑块 推杆 滑槽 链条 喷头 弹簧 输出端 电机
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