摘要
本发明涉及芯片刻蚀技术领域,具体地说,涉及一种芯片刻蚀加工设备。包括刻蚀机,所述刻蚀机的内部设置有两组刻蚀装置,一组所述刻蚀装置包括刻蚀箱和清洗箱,所述刻蚀箱和清洗箱的上端固定连接有侧板,所述刻蚀箱的上方设置有固定杆,所述固定杆的下端固定连接有夹持组件,本发明通过摆动板带动一系列部件运动,使固定块通过活动杆带动滑杆在圆柱杆上横向移动,从而带动芯片在刻蚀箱和清洗箱上方进行往复横向移动,既实现芯片在不同加工区域之间精准定位,极大缩短了工序转移时间,通过相关部件带动芯片在刻蚀箱或清洗箱内往复纵向移动,精确控制浸入深度,保障刻蚀和清洗效果的一致性与均匀性,提高芯片加工质量。
技术关键词
清洗箱
移动装置
芯片
刻蚀装置
翻转装置
夹持组件
活动杆
后辅助装置
活动块
刻蚀技术
支撑杆
滑杆
滑块
推杆
滑槽
链条
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弹簧
输出端
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