一种光机腔式加速度计设计参数优化方法

本发明涉及一种光机腔式加速度计设计参数优化方法，使用最优化模型和粒子群优化与差分进化融合算法的结合对光学位移测量单元和微机械加速度敏感单元进行核心参数优化，而粒子群优化与差分进化融合算法专门针对复杂的约束条件，且在计算中不易忽略关键参数，进而不会导致在设计过程中丧失重要的多样性。经过粒子群优化与差分进化融合算法的多次模拟计算与算法寻优,能够确定光机腔式加速度计最优结构参数,从而提升光机腔式加速度计的结构的性能,提升光机腔式加速度计的测量精度。