一种电子束辐照过程中的实时监控与记录系统

本发明公开了一种电子束辐照过程中的实时监控与记录系统，涉及电子束加工与辐照技术领域，所述系统包括数据获取模块，用于获取电子束在辐照过程中的实时位置和强度信息，与数据获取模块连接的偏差计算模块，用于基于实时位置与预设理想位置的偏差，确定所需的聚焦和偏转磁铁电流调整量，包括根据测得的电子束位置变化，计算电子束偏移量偏移增长率，判断偏移是否处于稳定状态，设定一个偏移增长阈值，当偏移增长超过该阈值时，调整控制参数以降低调整幅度，防止过度修正；该电子束辐照过程中的实时监控与记录系统，根据电子束位置偏移自动调整聚焦和偏转磁铁电流以解决辐照区域不精准的问题。